Litografia óptica (MJB3)

Pesquisador Responsável: Newton Frateschi
Departamento: Laboratório de Pesquisa em Dispositivos (LPD)
E-mail do contato: morasal@ifi.unicamp.br

 

Descrição do serviço/processo:
Realiza processo completo de fotogravação (espalhamento, exposição e revelação) com resolução máxima de 2 𝛍m.

Quais requisitos do cliente serão necessários para a realização do serviço? (Limitações quanto às dimensões e materiais da amostra, taxas de transmissão, etc.):
O processo só pode ser realizado em amostras de até 3″.

Qual produto será entregue pelo serviço? (relatório com parâmetros, arquivo de design, resultados experimentais, etc):
Amostra processada.

Qual o prazo de entrega do produto?
A combinar, dependendo do grau de dificuldade.

Qual o valor a cobrar do serviço?
Negociável.